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工業(yè)氣體等電子混合氣常用的平衡氣或稱底氣: N2、H2、He、Ar、O2 ; 組分氣: PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質(zhì)的含量，設(shè)有平衡氣體高壓凈化器，通過凈化平衡氣的純度大于99. 9999%，在凈化器的出口設(shè)有在線H2O、O2 檢測儀表，銅陵氣體，隨時(shí)反映凈化器出口氣體關(guān)鍵雜質(zhì)的含量，這些凈化器內(nèi)置氣體過濾器。由于組分氣體屬于劇i毒或有毒化學(xué)品，吹掃氣、放空氣、真空泵排出氣不能排放大氣，化學(xué)法雖然能夠通過反應(yīng)進(jìn)行中和，但由于涉及水溶液，高純氣體，因此，該法不是推薦方法，天然氣體價(jià)格，我們通常采用催化分解或燃燒的方法，可有效解決除AsH3 以外的有毒氣體，AsH3 處理只是由氣態(tài)有毒物變?yōu)楣虘B(tài)而已。
氫氣是世界上已知的輕的氣體，它的密度非常小，只有空氣的1/14，即在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，0℃下，氫氣的密度0.0899g/L。所以氫氣可作為飛艇的填充氣體（由于氫氣具有可燃性，安全性不高，飛艇現(xiàn)多用氦氣填充）。灌好的氫氣乳膠氣球，往往過一夜就飛不起來了，這是因?yàn)闅錃饽茔@過橡膠上人眼看不見的小細(xì)孔。氫氣主要用鋼瓶、鋼瓶組成的瓶組和氫氣管束槽車運(yùn)輸。
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