滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn)，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體分類：標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體，可分為單元標(biāo)準(zhǔn)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體，目前標(biāo)準(zhǔn)氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求，特種氣體的重要性：在半導(dǎo)體工藝中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離 不開電子特氣，因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。
特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn)，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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