高純氧氣主要用于標(biāo)準(zhǔn)氣配制,安徽氣體,集成電路和半導(dǎo)體器件生產(chǎn),氣體批發(fā),氣體火焰加工。
對(duì)于MOS場(chǎng)效應(yīng)器件,氧化層必須相當(dāng)致密。與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相淀積;作為氧化源和產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;采用高純氧氣進(jìn)行干法氧化,其氧化層結(jié)構(gòu)致密,正電荷少,耐壓高。還用于金屬的切割和焊接、煉鋼、國(guó)防、電子、化工、冶金等部門。

氧氣是一種化學(xué)性質(zhì)比較活潑的無色無味的氣體,氣體報(bào)價(jià),它可以與金屬、非金屬、化合物等多種特物質(zhì)發(fā)生氧化反應(yīng),反應(yīng)劇烈程度因條件不同而異,可表現(xiàn)為緩慢氧化、燒、爆等,反應(yīng)中放出大量的熱。
1、無色氣體 2、能溶于水 3、密度比空氣大 ρ=1.977g/l 4、干冰—固態(tài)CO2易升華
化學(xué)性質(zhì)
1、既不能燃燒,也不支持燃燒 2、CO2不能供給呼吸
