安徽南環(huán)(圖)_高純工業(yè)氣體廠家_合肥氣體
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- 主營產(chǎn)品:氧氣,氮?dú)?二氧化碳
- 公司地址:合肥市長豐縣江淮工業(yè)園金富路1號
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高純氣體的重要標(biāo)度 通常,罐裝工業(yè)氣體,高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛(純度),微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在i低限度,其粒度也應(yīng)是i小的(潔凈度)。因此,對于高純氣體,純度、干燥度、潔凈是三項重要的標(biāo)度。 特別是近10年來,
合肥氣體,隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn),對高純氣體潔凈度的要求,其重要程度已不亞于對純度和干燥度有嚴(yán)格要求的用氣工藝,高純工業(yè)氣體廠家,無一不對其中的粒子提出限制。

工業(yè)氣體同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是,配制電子混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜,高純工業(yè)氣體,電子混合氣體配氣裝置所用的管路必須是EP( 電解研磨) 級別,材質(zhì)為316L,精密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0. 25 級,材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng):正壓試驗1. 5 倍工作壓力,持壓30 min; 真空氦檢漏: ≤10 - 9 atm. cc /s; 系統(tǒng)水分: ≤ - 80 ℃; 微量氧: ≤10 × 10 - 9 ; 顆粒物測定: ≤1 EA/ft3 at 0. 1μm;≤5 EA/ft3 at 0. 05μm。為了防止產(chǎn)生顆粒物,裝置應(yīng)配有耐高壓、耐腐蝕過濾器

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